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半导体-氮化铝基板研磨液
氮化铝基板研磨液是将金刚石和碳化硅微粉和复合研磨助剂混合后而得，针对氮化铝基板不同程度的研磨需求，可以通过粗磨、精磨或抛光的组合达到所需光洁度平面。
产品参数：
磨料
碳化硅
金刚石
颜色
灰绿色
本色
粒度范围
5-60μm
0.1-40μm
浓度
10-30%
0.5-2%
产品特点：
1） 产品悬浮性好，保证了研磨过程的一致性；
2） 产品可循环使用，具有较长的使用寿命；
磨料分布集中，具备较高切削力的同时又具有较好的研磨效果
